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單元滲，滲入單一種元素
如滲碳（單元滲碳）、滲硼（單元滲硼）等。
2
二元共滲。同時滲入兩種元素的稱為二元共滲
如同時滲入碳、氮兩種元素即稱碳氮二元共滲（簡稱碳氮共滲），同時滲入硼、鋁兩種元素即稱硼鋁二元共滲（簡稱硼鋁共滲）等。
3
多元共滲。同時滲入兩種以上元素的稱為多元共滲
如同時滲入碳、氮、硼三種元素即稱碳氮硼三元共滲等。
4
二元復合滲。先后滲入兩種元素的稱為二元復合滲
如先后滲入鎢和碳兩種元素即稱鎢碳二元復合滲等。
5
多元復合滲。先后滲入兩種以上元素的稱為多元復合滲
如氮碳硫三元復合滲等。
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