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滲氮，也叫氮化，有時候為了區別軟氮化，也稱硬氮化，但就滲氮層硬度來講，并無軟硬之分。
滲氮工藝過程和其它化學熱處理一樣，包括滲劑反應、溶劑中擴散、相界面反應、氮元素在鐵中擴散，以及擴散過程中氮化物的形成。
滲劑中的反應主要指滲劑中分解出含有活性氮原子的過程，該物質通過滲劑中的擴散輸送至鐵表面，參與界面反應，在界面反應中產生的活性氮原子被鐵表面吸收，進而向內部擴散。
滲氮使用最多的介質是氨氣，在滲氮溫度下，氨是亞穩定的，它發生如下分解反應：
2NH3＜＝＞3H2+2［N］
當活性氮原子遇到鐵原子時，則發生下列反應：
Fe+［N］＜＝＞Fe（N）
4Fe+［N］＜＝＞Fe4（N）
2~3Fe+［N］＜＝＞Fe2~3（N）
2Fe+［N］＜＝＞Fe2（N）
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