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滲氮零件為了心部具備較高的綜合力學性能，處理前一般需要進行調質處理，工模具采用淬火、回火處理，以獲得回火索氏體組織（工模具為回火馬氏體組織）。
形狀復雜、畸變要求高的精密零件，在精加工之前，應進行1~2次穩定化處理，以消除機械加工引起的應力，并保證組織穩定。穩定化處理溫度應高于滲氮溫度，穩定化溫度與滲氮溫度都不能高于調質回火溫度。
滲氮件表面粗糙度對處理效果也有影響，粗糙的表面使滲層的不均勻性和脆性增大。
相同滲氮條件下，滲氮層深度和硬度與調質預處理的回火溫度有關。
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