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采用金相法測得的滲氮層深度，一般較硬度法測得的深度稍淺。
硬度梯度法是將滲氮后的試樣沿層深方向測得一系列硬度值，利用深度-硬度值繪成曲線，曲線中比基體硬度高50HV處對應的深度值，即為滲層深度。試驗采用顯微維氏硬度法，試驗力一般為2.94N(（0.3kgf），根據情況可用1.96~19.6N（0.2g~2kgf）之間的其它試驗力。對于滲氮層硬度變化平緩的工件（如碳鋼或低碳低合金鋼件），其滲層深度可以從試驗表面沿垂直方向測至比基體維氏硬度值高30HV處。
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