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鋼鐵材料600℃以下氮碳共滲處理后的組織與滲氮層組織大致相同。由于碳的作用,化合物層成分有所變化,碳素鋼及鑄鐵工件由表及里為:以Fe2-3(N,C)為主、含有Fe4N的化合物層,有γ′針析出的擴散層(彌散相析出層)和以含氮鐵素體α(N)為主的過渡層。在合金鋼中,還含有鉻、鋁、鉬、鈦等元素與氮結合的合金氮化物。
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