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隨著科學技術的進步,許多工業設備被制造出來,包括光亮退火爐。光亮退火爐是一種新型換熱設備,應用廣泛。許多工廠都有明亮的退火爐。光亮退火爐的目的是什么?有哪些種類的光亮退火爐?
光亮退火爐介紹
光亮退火爐是一種新型換熱設備。光亮退火爐是半導體器件制造中使用的工藝,包括加熱多個半導體晶片以影響它們的電性能。熱處理是為不同的效果而設計的。晶片可以被加熱以激活摻雜劑,將薄膜轉換成薄膜或晶片襯底界面,密集沉積薄膜,改變生長薄膜的狀態,修復注入的損傷,將摻雜劑從一個薄膜移動或轉移到另一個薄膜,或者從薄膜進入晶片襯底。加熱方式有電加熱、燃油、燃氣、燃煤、熱風循環。