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光亮退火爐的分類及結構介紹
光亮退火爐是半導體器件制造中使用的工藝,包括加熱多個半導體晶片以影響它們的電性能。熱處理是為不同的效果而設計的。晶片可以被加熱以激活摻雜劑、將薄膜轉換成薄膜或晶片襯底界面、密集沉積薄膜、改變生長薄膜的狀態、修復注入的損傷、將摻雜劑從一個薄膜移動或轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶片襯底。光亮退火爐可以集成到其他爐處理步驟中,例如氧化,或者可以單獨處理。光亮退火爐由專門設計用于加熱半導體晶片的設備完成。光亮退火爐是一種超節能結構和纖維結構的節能周期運行爐,節電60%。
光亮退火爐主要用于退火大型碳鋼和合金鋼零件,但你肯定不了解這方面的知識,所以想知道不銹鋼光亮退火爐的介紹?光亮退火爐的框架由各種型鋼焊接而成,外框由槽鋼為主梁,圍板由冷薄板制成,臺車光亮退火爐由槽鋼為主梁,底板和前后端板由中間板制成。光亮退火爐的燃燒系統在油爐兩側裝有多個燃燒器,熱流在爐內循環,保證爐內溫度均勻??筛鶕枰x擇自動型和半自動型。煙氣預熱裝置:安裝在爐膛后部上端。爐內煙氣經過預熱器后,由風機送至冷風預熱,再通過管道送至燃燒器助燃。出口配有手動蝶閥,可調節爐膛壓力。廣泛應用于化工、石油、食品、冶金、機械、輕工、電力、船舶、造紙、采礦、醫藥、集中供熱等工業部門。
雙層連續光亮退火爐分為“上基換熱連續光亮退火爐”和“雙層輥底連續球化光亮退火爐”兩個系列;該產品是科技創新的環保新產品,已獲得國家發明專利,專利號為ZL200810120771和ZL200610053067,處于國內領先水平。根據退火工藝新技術,將兩個反向進料單層輥底連續光亮退火爐的傳動輥道集成在同一個爐膛內,上輥道和下輥道之間沒有耐火爐襯,退火余熱用于加熱另一層退火片。退火過程結束后,在爐體兩端設置廢熱交換室,利用退火廢熱對冷工件進行加熱。由于熱交換,軸承鋼棒材球化退火單位電耗由210 ~ 240千瓦小時/噸降低到130千瓦小時/噸以下,節能效果顯著。
