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臺車式光亮退火爐技術(shù)參數(shù)
隨著燃料資源的開發(fā)和燃料轉(zhuǎn)化技術(shù)的進步，臺汽車式光亮退火爐的燃料已由塊煤、焦炭、煤粉等固體燃料逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)榘l(fā)生爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料，并開發(fā)了與所用燃料相適應(yīng)的各種燃燒設(shè)備。臺臺車式光亮退火爐是一種用于半導(dǎo)體設(shè)備制造的工藝，包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電氣功能。熱處理針對不同的功能進行規(guī)劃。晶片可以被加熱以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或晶片襯底界面，致密化沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，校正注入損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底。光亮退火爐可以集成到其他爐處理步驟中，如氧化，也可以單獨處理。光亮退火爐由專門設(shè)計用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備完成。光亮退火爐是一種超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能周期運行爐，節(jié)電60%。
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