真空爐是指在真空中加熱的機械和設備。在帶有密封金屬材料護罩或石英玻璃燈罩的爐內，選擇管道與高機械泵系統軟件連接。爐內真空度達到133 (10-2 ~ 10-4) h，爐內加熱系統軟件可以立即使用電熱絲(如燈絲)連接電加熱器，也可以使用高頻電磁感應加熱。

　　真空回火爐的安裝規定體現在以下幾個方面：

　　1.參照工程圖紙提供的爐具各位置規格及土建標準，選擇機械設備永久安裝地址，進行土建。安裝地址應無灰塵和環境污染，自然環境應清潔干燥。不得與鹽爐等放在一起。室內溫度應保持在10-30，路面應平整光滑。

　　2.安裝由高純度石墨制成的部件時要非常小心，并可靠地擰緊地腳螺栓，以獲得良好的電氣接觸，而不需要花很大力氣來防止外螺紋斷裂。

　　3.根據真空設備圖紙，將真空機與爐體準確定位、組裝和連接。安裝時，在密封圈上涂一薄層真空泵潤滑脂，并均勻擰緊法蘭。

　　4.根據水冷系統圖，進水管和排水管分別接在爐子的進水口和出水口上。提供工作壓力為0.3-0.5帕、溫度不低于15且不高于25的水資源。最好提供冷卻循環水和防銹處理水。

　　5.提供氣壓至少為0.5兆帕的氣動閥，以便在爐子實際運行的整個過程中保持足夠的水資源。N2可以工業化生產。如果使用壓縮空氣，則保留氣動“三件套”(即氣動三件套、氣體減壓閥和分水氣體過濾器)。

　　6.根據回料蒸汽系統圖，將管道引至爐膛氣體出口，并建議提供純度為99.99-99.999%的高純氮氣作為回料蒸汽。

　　7.根據電氣接線圖，將開關電源接到相對的電氣觸頭上，檢查電源電壓，連接控制柜、電源箱和爐體之間的電纜和電線。

　　8.安裝其他部件，包括軟管、儀器和設備等。